商品明細

電熱水洗式廢氣處理機

  • 料號:S002

商品詳細介紹Product Introduction

電熱水洗 式廢氣處理機為一臺專門處理各種製程廢氣的系統,它混合了熱氧化分解及水溶解的過程,將製程所產生的廢氣,利用特殊設計的一個反應室,反應成粉末或是反應 成溶解於水中的物質,再經過後段之完全有效處理才排放至廠務中央處理系統,所處理的廢氣,包含半導體廠、 TFT-LCD 廠、LED廠、太陽能廠 …等所使用的特殊氣體。

商品特色

◆工研院 SEMI S2 之相關安全認證
◆水溫偵測感應系統
◆低耗水量之專利設計
◆智慧型電子控制系統
◆設有雙馬達排水系統
◆作業溫度 850 度,有效處理廢氣
◆智慧型線上故障排除系統
◆廣泛使用在 CVD,ETCH,Diffusion,Solar cell 等製程
◆超精密之安全機制在機臺各個重點位置皆有安裝即時 ON-Line 訊號點
◆人性化機臺之操作設計保護相關工作人員之安全性及便利性
◆榮獲全球專利之水幕式反應腔體,可避免腔體粉塵阻塞及腐蝕
◆保養維護的週期長,定期巡檢的時間約 0.5~1小時,不影響製程

商品規格

產品規格:
設有四個廢氣處理入口端。
外觀尺寸 ( 公厘 )- 1008( 深 )*1208( 寬 )*2450( 高 )。
機臺重量:423 公斤。
最高處理量可到達 400 slm;可Update至600 slm。
選購配備:
出口端鼓風機
遠端監控系統
自動切換系統
加熱槍及加熱帶
水質酸鹼測量供應系統

商品注意事項Product Notes

聯絡人:陳志欣
聯絡電話:03-5511899#271、0972109900
聯絡信箱:bsm66@osc-tw.com
 

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